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高温晶体生长炉：高温晶体生长炉哪个牌子好？

文章出处：洛阳西格马高温电炉有限公司人气：196 发表时间：2019-08-09

什么是单晶硅生长炉？

单晶硅生长炉是通过直拉法生产单晶硅的制造设备。主要由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。

高温晶体生长炉主要用于LED行业的蓝宝石晶体制备。

西格马高温晶体生长炉为高温氧化物晶体生长设备。高温晶体生长炉炉体钟罩式升降，放置坩埚和维护热场。底部坩埚升降，籽晶在坩埚底部，坩埚杆带水冷。采用分子泵或油扩散泵，控制系统带有PLC和摸触屏。

西格马生长炉系列产品有：单晶生长炉、晶体生长炉、单晶硅生长炉、蓝宝石炉、蓝宝石生长炉、碳化硅生长炉、多晶硅生长炉、半导体生长炉、硅单晶生长炉、石墨烯生长炉、vb生长炉、单晶体生长炉、cvd生长炉、野性生长炉石、蓝宝石晶体生长炉。

1、额定加热温度： 1800℃

2、功率： 80Kw±10%单相整流

3、冷态极限真空度： ≤5×10E-a

4、.压升率： ≤2Pa/h

5、炉体尺寸： Ф750×1065mm（直径×高）

6、工作尺寸： Ф320×300

7、测温系统：热电偶

8、控温精度： ±0.1℃，采用日本岛电温控仪表

9、加热区：一区

10、坩埚升降参数：位移行程 400mm

慢速升降0.1/10mm/h（伺服控制）精度±0.01mm

快速升降50/200mm/min（伺服控制）

11、底出料参数：位移行程 850mm

升降速度100/1000mm/min

12、炉内充气压力： ≤0.05MPa

13、充放气系统：两路（一路采用电磁阀充放气，一路预留充放气接口）

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