质子流量计混气控制系统\多通道质子流量计控制系统
多通道质子流量计控制系统是一款低成本多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜额定可以承重1000Lbs，与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的LCD触摸屏上，便与操控的同时，可实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD或PECVD实验和各种材料的退火实验。
多通道质子流量计控制系统适用于低压小流量，多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用，而不会造成大气进入加热管。
气体压力和流量数据在同一平面直观可读，外形美观、实用，操作简便。
采用触摸屏来控制气体的流量，显示流量准确，方便操作。
所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接，便于维修拆卸。
PLC触摸屏
各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上
RS485通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制，（可选）
机械压力表
有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接
量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
通气管道
内部连接管道为1/4”不锈钢管
外部通气管道为1/4”聚四氟管
混气罐
Φ80X120mm
截止阀及配件
316/304不锈钢针阀
Φ1/4”不锈钢管
气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。
混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。
每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。
该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。
所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。
四路质子气体流量计主要参数：
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产品名称 |
四路质子气体流量计 |
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流量计类型 |
质子流量计 |
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流量计管芯 |
304不锈钢 |
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调节阀类型 |
电磁调节阀 |
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管道常态 |
常闭 |
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流量计外壳 |
黑色铝壳 |
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气体种类 |
4种 |
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接口尺寸 |
1/4" |
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测量精度 |
±1.0%F.S |
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线性度 |
±0.5%F.S |
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重复精度 |
±0.2%F.S |
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压力范围 |
-0.1-0.15 MPa |
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A路气体测量范围 |
0～100SCCM |
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B路气体测量范围 |
0～200SCCM |
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C路气体测量范围 |
0～500SCCM |
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流量控制范围 |
2%～100% |
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零点温漂 |
0.6F.S(15～35℃) |
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响应时间 |
2S |
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工作环境温度 |
(15～50℃) |
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精度保证温度 |
(15～35℃) |
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供电电源 |
220V 50Hz |
|
外形尺寸 |
L800×W600×H580 |
|
设备重量 |
63kg |
多通道质子流量计控制供气系统内部压力不能过大，不然容易造成漏气，只要气体能正常流出来即可。质量流量计技术参数：质子流量控制器普通型，模拟电路，橡胶密封，管状分流，不易堵塞。
四通道质子流量计控制供气系统的配置：
质子流量计：4个
压力表：1个
截止阀门：5个
穿板接头：5个
阀门接头：2个
钢瓶接头: 4个
聚四氟乙烯管：20M
混气罐：1个
炉架：1台
多通道质子流量计控制系统应用范围：
1.用于半导体制造行业中气体流量控制
2.用于各种真空镀膜设备
3.用于材料表面处理
4.用于气体燃烧控制
5.用于混和配气系统
6.用于泄漏探测系统
7.用于环境检测与分析设备
8.用于分析仪器的气体流量计量与控制
9.用于化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
多通道质子流量计控制系统常用尺寸规格参数：
|
产品 |
二通道质子流量计控制系统 |
三通道质子流量计控制系统 |
四通道质子流量计控制系统 |
五通道质子流量计控制系统 |
|
工作温度 |
5-45℃ |
5-45℃ |
5-45℃ |
5-45℃ |
|
额定压力 |
3*10^6 Pa |
3*10^6 Pa |
3*10^6 Pa |
3*10^6 Pa |
|
精度 |
±1.5% FS |
±1.5% FS |
±1.5% FS |
±1.5% FS |
|
重复精度 |
±0.2%FS |
±0.2%FS |
±0.2%FS |
±0.2%FS |
|
流量范围 |
一路：1~199 SCCM 二路：1~199 SCCM |
一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~499 SCCM |
一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM |
一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM |
|
注意 |
其他流量范围的可定制（0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM），需额外费用 |
五-九路可按照客户要求定制 |
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